EtherCAT Slave용 comX 51CA-RE\R 통신 모듈은 반도체 제조 장비의 자동화 장치에 통합되도록 설계되었습니다. 따라서 질량 흐름 제어기 또는 진공 밸브와 같은 장치는 ETG.5003-1 표준에 따라 네트워크 인터페이스를 장착할 수 있습니다.
SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 시장에서는 EtherCAT 표준이 인기를 끌고 있습니다. 이에 따라 대형 반도체 공급업체들이 EtherCAT 표준 ETG.5003 반도체 소자 Profile 개발에 적극 참여하고 있습니다.
comX 51CA-RE\R은 Common Device Profile(CDP, ETG.5003-1)에 정의된 회전 스위치를 통한 명시적 장치 ID를 다루는 ETG 표준과 일치합니다.